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线性驱动
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产品概述 Product Overview
紧凑型三维平移台结构紧凑，可以在超高真空环境中提供精确的运动和样品位置控制。X/Y方向采用微分头控制，Z方向采用丝杆，使其运行更加平稳。焊接不锈钢波纹管，允许NW35CF移动法兰在有限范围内移动。安装法兰可选，NW35CF或NW63CF。
规格说明 Specification
● 工作气压：10-11 mbar~1 bar
● 驱动方式：手动
● 最高烘烤温度：150℃
● 采用SS316材料焊接的波纹管
● 微分头分辨率：10μm
● Z轴刻度以1mm递增
● 上端安装法兰：CF35，螺纹孔
● 下端安装法兰：CF63，通孔
| 法兰尺寸 | XY行程 | Z行程 | A压缩 | A拉伸 | 重量（Kg) | 型号 | |
| 毫米 | 英寸 |
毫米 |
|||||
| 70 | 2.75 | ±12.5 | 75 | 165 | 240 | 10.2 | SXYZ63Z75 |
| 100 | 165 | 265 | 10.5 | SXYZ63Z100 | |||
| 150 | 165 | 315 | 10.9 | SXYZ63Z150 | |||
产品尺寸 Dimension Drawing
视频 Video
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